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利用STO或铌掺杂STO单晶作为沉积衬底,发现法问不仅薄膜制作成本昂贵,且很难通过标准的半导体工艺实现大面积或大规模制备。该研究工作得到了国家自然科学基金、纪违3件广西自然科学基金杰出青年基金、纪违3件广西百人计划、广西自然科学留学回国重点基金、广西大学相对论天体物理重点实验室、广西有色金属及特色加工国家重点实验室(培育)、中组部西部之光访问学者计划等的共同资助。
其主要设计思路为:题线在薄膜与电极之间上插入一层超薄的高阻层,如Al2O3等,通过其分担加在薄膜上的电压来实现薄膜介电击穿电场的提升。然而,山东审计送违索这些高储能密度的无铅介电薄膜通常是生长在SrTiO3(STO)单晶衬底上或者铌掺杂STO单晶称底上。
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